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解決方案
激光晶圓雕刻工藝設(shè)備介紹
2021-01-09
激光雕刻機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域非常的廣泛，下面關(guān)于激光大師LTT激光晶圓雕刻工藝應(yīng)用分析：
每一個(gè)高能量的激光脈沖瞬間就把物體表面濺射出一個(gè)細(xì)小的孔，在計(jì)算機(jī)控制下，激光加工頭與被加工材料按預(yù)先繪好的圖形進(jìn)行連續(xù)相對(duì)運(yùn)動(dòng)打點(diǎn)，這樣就會(huì)把物體加工成想要的形狀。 雕刻時(shí),一股與光束同軸氣流由切割頭噴出，將熔化或氣化的材料由切口的底部吹出(注：如果吹出的氣體和被切割材料產(chǎn)生熱效反應(yīng),則此反應(yīng)將提供切割所需的附加能源；氣流還有冷卻已切割面，減少熱影響區(qū)和保證聚焦鏡不受污染的作用)。
與傳統(tǒng)的板材加工方法相比,激光雕刻其具有高的切割質(zhì)量(切口寬度窄、熱影響區(qū)小、切口光潔) 、高的雕刻速度、高的柔性(可隨意切割任意形狀) 、廣泛的材料適應(yīng)性等優(yōu)點(diǎn)。激光雕刻技術(shù)廣泛應(yīng)用于金屬和非金屬材料的加工中，可大大減少加工時(shí)間，降低加工成本，提高工件質(zhì)量。
激光雕刻是應(yīng)用激光聚焦后產(chǎn)生的高功率密度能量來(lái)實(shí)現(xiàn)的。在計(jì)算機(jī)的控制下，通過(guò)脈沖使激光器放電，從而輸出受控的重復(fù)高頻率的脈沖激光，形成一定頻率，一定脈寬的光束，該脈沖激光束經(jīng)過(guò)光路傳導(dǎo)及反射并通過(guò)聚焦透鏡組聚焦在加工物體的表面上，形成一個(gè)個(gè)細(xì)微的、高能量密度光斑，焦斑位于待加工面附近，以瞬間高溫熔化或氣化被加工材料。
激光大師LTT晶圓激光雕刻機(jī)整個(gè)系統(tǒng)由控制系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、氣冷系統(tǒng)、排煙和吹氣保護(hù)系統(tǒng)等組成，采用最先進(jìn)的數(shù)控模式實(shí)現(xiàn)多軸聯(lián)動(dòng)及激光不受速度影響的等能量切割，同時(shí)支持CDR、CAD、BMP、GIF、JPEG、PCX、TGA、TIFF、PLT等圖形格式并強(qiáng)化界面圖形繪制處理能力；采用橫河DD馬達(dá)與直線電機(jī)組成的精密定位平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)在高速狀態(tài)下良好的運(yùn)動(dòng)、重復(fù)定位精度。
激光大師LTT晶圓激光雕刻機(jī)擁有最新設(shè)計(jì)、易學(xué)好用的特性，工作臺(tái)面為A2尺寸(或更大尺寸)，電控式Z軸升降，實(shí)用貼切的前后開(kāi)門設(shè)計(jì)，讓您的加工作業(yè)更靈活，更有彈性。工作區(qū)有內(nèi)置照明裝置，這個(gè)貼心的設(shè)計(jì)可使您清晰掌控工作狀況。除此之外，晶圓激光雕刻機(jī)具有高分辨率、高內(nèi)存、高速度、高精度、高穩(wěn)定性等重要特點(diǎn)，堪稱工業(yè)用行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)晶圓激光雕刻機(jī)，是掌握速度與精度的最佳雷射系統(tǒng)，是您提高工作效率上的最佳伙伴及有效工具！
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